超純水設(shè)備和純水設(shè)備都是用于制備高純度水的設(shè)備，但二者之間還是存在一些區(qū)別的。

首先，純水設(shè)備主要采用離子交換法或反滲透法等物理或化學(xué)方法去除水中的雜質(zhì)、離子等，使得水的電導(dǎo)率、溶解度等物理化學(xué)指標(biāo)符合一定的要求，一般可以達(dá)到電導(dǎo)率在1-10μs/cm的水質(zhì)要求。而超純水設(shè)備則是在純水的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步采用電去離子技術(shù)或超濾、納濾、反滲透等多種工藝技術(shù)，去除水中的微量有機(jī)物、細(xì)菌、病毒、超微粒等，使得水的電導(dǎo)率、溶解度等物理化學(xué)指標(biāo)更高，可以達(dá)到電導(dǎo)率在0.055-0.2μs/cm的水質(zhì)要求，達(dá)到電子級、分子級甚至更高級別的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

其次，從應(yīng)用領(lǐng)域來看，純水主要用于化工、制藥、電子、實(shí)驗室等領(lǐng)域，而超純水則主要用于半導(dǎo)體、光電子、食品、飲料、航空航天等高端領(lǐng)域，對水質(zhì)的要求更高。

最后，從設(shè)備結(jié)構(gòu)和成本來看，超純水設(shè)備相對于純水設(shè)備更加復(fù)雜，需要更多的設(shè)備和工藝流程來達(dá)到更高的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，因此相應(yīng)的成本也更高。

綜上所述，雖然超純水設(shè)備和純水設(shè)備都是用于制備高純度水的設(shè)備，但在水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、應(yīng)用領(lǐng)域、設(shè)備結(jié)構(gòu)和成本等方面都存在一定的區(qū)別。